20.08.1988 /
Wissenschaften
Foto: AdW/Fröbus
Lithographie
Der Computerkonzern IBM arbeitet an einem als Röntgen- Lithographie bezeichneten Verfahren, mit dem die Herstellung von 64-Megabit-Speicherchips möglich werden soll. Das wäre das 16fache der Dichte, d...
Artikellänge: rund 122 Wörter
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