26.04.1983 /
Ausland
In 15 Jahren drei Gerätegenerationen
Bei Zeiss in Jena begann der Aufbau einer völlig neuen Erzeugnisgruppe: mikrolithographische Geräte. Ihre technische Konzeption und viele Details, alle nötigen Parameter wurden genauestens mit dem kün...
Artikellänge: rund 251 Wörter
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