Von Prof. Dr. Alfred Z e h e und Dr. Jürgen Z ü h I s d o r f
01.11.1986 /
Wissenschaften
Schichten — so dünn wie einige Atomdurchmesser
Die Mikroelektronik entwickelt sich in drei Grundrichtungen: Erhöhung des Integrationsgrades, das heißt die Erhöhung der Anzahl der Bauelemente je Chip; Schaffung schnellerer Bauelemente und Entwicklu...
Artikellänge: rund 43 Wörter
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