16.11.1985 /
Wissenschaften
Aufgaben für die Grundlagenforschung
Beim Übergang zu anderen Stoff- bzw. Schichtsystemen, bei der Ausdehnung des Plasmaätzens auf ,den Submikrometerbereich sind eine Reihe neuer grundlegender und technologischer Fragen in der Zukunft zu...
Artikellänge: rund 70 Wörter
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