28.03.1965 /
Allgemein
Elektronenstrahl arbeitet
Dresden: Eine Vakuum-Durchlaufanlage und eine Elektronenstrahl-Mikro» bearbeitungsanlage zur Serienfertigung mikroelektronischer Bauelemente in Dünnschichttechnik sind vom Dresdner Forschungsinstitut ...
Artikellänge: rund 23 Wörter
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