03.01.1987 /
Wissenschaften
Zungen werden aus dem Kristall geätzt
Mit der rrtikromechanischen Technik lassen sich in Siliziumkristalle Löcher, Senken, Gräben oder Röhren einbringen, Membranen, Trennwände, Vorsprünge, Pyramiden, Nadeln und Zungen herstellen. Das Mate...
Artikellänge: rund 238 Wörter
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