13.03.1982 /
Wissenschaften
Ein Teilchenstrahl zeichnet direkt
Die überlegene Auflösung und große Schärfentiefe elektronenoptischer Systeme hat schon Ende der sechziger Jahre zu ersten Anwendungen des Elektronenstrahls zur Strukturierung von Halbleitersubstraten ...
Artikellänge: rund 321 Wörter
Sie benötigen ein Archiv-Abo, um die Artikel im nd-Altarchiv lesen zu können.
Jetzt ein Archiv-Abo bestellen?
Als AbonnentIn (Print, Online und Kombi) unserer Zeitung können Sie das nd-Archiv als digitales Zusatzangebot nutzen, der Aufpreis zu Ihrem Abo beträgt jeweils nur 5 €.
Für Print- und Onlineabonnenten
Vollzugriff auf's Archiv:
Login
Jahrgänge durchstöbern
1946
| 1947
| 1948
| 1949
| 1950
| 1951
| 1952
| 1953
| 1954
| 1955
| 1956
| 1957
| 1958
| 1959
| 1960
| 1961
| 1962
| 1963
| 1964
| 1965
| 1966
| 1967
| 1968
| 1969
| 1970
| 1971
| 1972
| 1973
| 1974
| 1975
| 1976
| 1977
| 1978
| 1979
| 1980
| 1981
| 1982
| 1983
| 1984
| 1985
| 1986
| 1987
| 1988
| 1989
| 1990
Tagesausgabe wählen
Archiv durchsuchen