13.03.1982 /
Wissenschaften
Eine Basistechnologie für die Mikroelektronik
Lithographie mit Licht und Elektronenstrahlen
Die Entwicklung der Mikroelektronik von der Erfindung des Transistors im Jahre 1948 bis zur höchstintegrierten Schalt-* kreisteehnik (VLSI - Very- Large-Scale-Integration) des Jahres 1980 ist wohl ohn...
Artikellänge: rund 206 Wörter
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