Von Nationalpreisträger Prof. Dr. sc. techn. Eberhard Heidenreich
18.06.1988 /
Wissenschaften
Foto: AdW/Fröbus
Reinste Räume für die Meaachip-Produktion
Selbst die pingeligste Hausfrau würden wohl die Anforderungen der Mikroelektronikindiistrie an die Staubfreiheit ihrer Produktionsräume entsetzen. — Dort dürfen in einem Kubikmeter Luft nicht mehr als...
Artikellänge: rund 174 Wörter
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