28.05.1975 /
Berlin
Fotolithografie
Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie Etwa 350 Seiten, 205 Abb., 43 Tat, Leinen. DDR und soz. Ausland 40,— M, nichtsoz. Ausland 60,— M. Bestell-Nr. 5522558 In der gegenwärtigen Entwick...
Artikellänge: rund 76 Wörter
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