05.12.1987 /
Wissenschaften
Atom« — Werkzeuge besonderer Art
Jedes Atom, das die Folie durchquert, hinterläßt eine Spur von Materialschäden im molekularen Bereich, die_ die Ursache dafür sind, daß bei einer anschließenden chemischen Ätzung das Material entlang ...
Artikellänge: rund 122 Wörter
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